“先进资料像漫山遍野般出现”

  凤凰山脚下，由十多栋高楼组成的深圳先进电子资料世界立异研讨院（以下简称“电子资料院”）安静整齐，完全看不出这儿曾是繁忙的工业生产厂房。走出行政楼侧门，副院长张国平几步就来到中试实验楼。中试实验楼墙上的中控电子屏，实时显现着洁净房里的温湿度等环境状况。隔着厚厚的玻璃，张国平缓记者说：“那台不锈钢反应釜正在进行暂时键合资料工程化扩大实验。”

  “该资料大多数都用在集成电路先进封装，是晶圆减薄工艺中的要害支撑资料，它将器材晶圆紧紧黏合在载片上，维护其在传送过程中免受损坏。”张国平介绍，他从2011年入职中国科学院深圳先进技术研讨院就展开该资料的研讨，2016年他推进研讨效果搬运转化兴办化讯半导体资料有限公司，开端做市场化探究。2020年，化讯半导体为接近电子资料院迁至深圳市宝安区。

  身穿防静电洁净服的技术员姜晓宇，通过观察窗细心承认釜内资料状况正常后，通过纳米级滤芯进行采样。“接下来还要通过严厉的各阶段物性测验，再进行高洁净罐装，最终才干交付给客户。”姜晓宇说。

  “得益于市区两级政府支撑建造的这个‘研制—检测—中试—验证’全闭环渠道，咱们团队在先进资料方面的研制效果像漫山遍野出现。这几年，咱们请求暂时键合资料相关发明专利70余件，获得授权专利20余件、世界PCT专利2件。多件专利技术成功完成产业化。”指着展厅橱窗里几个小玻璃瓶，张国平缓记者说，“看，这便是咱们自主研制的晶圆减薄暂时键合资料，现在已成功导入国内集成电路封测有突出贡献的公司，全面支撑终端使用企业规模化量产，完全打破了发达国家对该资料的长时间独占。”